表面粗さ・輪郭形状測定機

機種一覧

SEF580A-G18D

“表面粗さ”と“輪郭形状”の2つの測定が可能です。タッチパネル採用で「測定条件の切り替え」等の操作性に優れ、多種多様なワークの測定に素早く対応できます。

  • 表面粗さ測定
    • 1回の測定で規格が異なるパラメータの解析ができ、新しい規格への移行がスムースに行えます。
  • 輪郭形状測定
    • X軸の最大測定サンプリング数が64,000点と多く、高分解能で長距離の測定が可能です。

表面粗さ

測定範囲/分解能 Z:600μm/0.08nm
送り速さ 0.02~10mm/s
触針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形状

測定精度 Z:±0.25%(弊社規格)  X:±(1+0.02L)μm以下
L:測定長さ(mm)
測定範囲 Z:50mm  X:100mm
触針 R25μm  10~30mN

カタログダウロード

SEF800-N

表面粗さ測定機と輪郭形状測定機を一体化したもので、粗さうねり評価と形状評価を1台で行うことができます。

  • 表面粗さ測定
    • 各国規格に対応しています。
    • 縦軸と横軸の自動校正機能を装備。
    • 自動で測定から印刷まで実行。
  • 輪郭形状測定
    • 多断面形状解析。
    • 「ワンキー操作」方式の強力なマクロ機能。
    • 測定操作サポート。

表面粗さ

測定範囲/分解能 Z:600μm/0.04nm
送り速さ 0.05~2mm/s
触針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形状

測定精度 Z:±(1.0+l0.04× Hl)μm以下  H:変位(mm)
X:±(1.0+0.02L)μm以下  L:測定長さ(mm)
測定範囲 Z:±30mm  X:100mm
触針 R25μm  10~30mN

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DSF-L800

高い分解能で広いダイナミックレンジの測定を可能にした、デジタル表面形状・粗さ測定機です。

  • 変位検出器にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形状”と“表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能。
  • より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接触点フィルタを標準装備。
  • 検出器過負荷停止機能標準装備。
Z分解能/測定範囲 0.75nm / ±6mm
Z検出方式  半導体レーザスケール
触針 R2μm  0.7mN
解析項目 形状解析(要素、スカラ量、統計量、マスタ比較、公差判定)
表面粗さ(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS)
表面うねり(JIS)

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