微細形状測定機

NT1520

膜厚、段差測定等、レシピ自動測定に最適！

• ワイドレンジ検出器・・・1300μm
• X、Y方向両軸測定・・・電動Y軸ユニット搭載機
• ET200A-3D・・・三次元表面粗さ解析及び段差測定に最適

最大サンプルサイズ	Φ220×厚さ10mm　※6、8インチウェハ対応
再現性	1σ  0.3nm以内
測定範囲	Z：1300μm  X：205mm　Y：280mm
分解能	Z：0.1nm  X：0.01μm　Y：0.1μm
測定力	30μN～600μN

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ET200A ET200A-D ET200A-3D

二次元表面粗さ解析及び段差測定に最適で、高精度・高分解能・優れた安定性を実現、また、微少測定力で軟質試料面にも対応しています。

• ET200A・・・表面粗さ解析 及び 段差測定 に最適
• ET200A-D・・・電動Y軸ユニット搭載機
• ET200A-3D・・・三次元表面粗さ解析及び段差測定に最適

最大サンプルサイズ	Φ160×厚さ52mm
再現性	1σ  0.3nm以内
測定範囲	Z：600μm  X：100mm
分解能	Z：0.1nm  X：0.1μm
測定力	10μN～500μN

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ET4000A

精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。

• ET4000A・・・多機能な全自動微細形状測定機
• ET4000L・・・大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
• ET4000M・・・リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機

最大サンプルサイズ	210×210mm、300×400mm
再現性	1σ  0.5nm以内
測定範囲	Z：100μm  X：100mm（Y移動量：150～400mm）
分解能	Z：0.1nm  X：0.01μm
測定力	0.5μN～500μN

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ET8000

サンプルサイズ2200×2600mmまでの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。また、サンプルのロード/アンロードできるオプションも用意されています。

• 全自動大型ワーク測定用。

最大サンプルサイズ	2200×2600mm
再現性	1σ  1nm
測定範囲	X：10mm  Y：10mm
分解能	Z：0.1nm  X：0.1μm
測定力	0.5μN～500μN