接触式段差計

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　NEW!!　NT1520

膜厚、段差測定等、レシピ自動測定に最適！
  • ワイドレンジ検出器・・・1300μm
  • X、Y方向両軸測定・・・電動Y軸ユニット搭載機
  • ET200A-3D・・・三次元表面粗さ解析及び段差測定に最適
最大サンプルサイズ Φ220×厚さ10mm　※6、8インチウェハ対応
再現性 1σ  0.3nm以内
測定範囲 Z：1300μm  X：205mm　Y：280mm
分解能 Z：0.1nm  X：0.01μm　Y：0.1μm
測定力 30μN～600μN

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