接触式段差計

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　NEW!!　NT1520

膜厚、段差測定等、レシピ自動測定に最適！
  • ワイドレンジ検出器・・・1300μm
  • X、Y方向両軸測定・・・ワーク置直し不要。タクト軽減に貢献。
  • 直動方式検出器・・・世界唯一の構造で高精度・高再現性を実現。
最大サンプルサイズ Φ220×厚さ10mm
※４、6、8インチウェハ対応
再現性 1σ  0.3nm以内
測定範囲 Z：1300μm  X：205mm　Y：280mm
分解能 Z：0.1nm  X：0.01μm　Y：0.1μm
測定力 30μN～600μN　※オプション　0.5μN～

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