微細穴三次元形状測定機

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機種一覧

FP-Labo

最小測定穴径 φ10μm～
最大測定長 300×300×300μm
測定分解能 10nm
測定力 0.1μN以下
移動軸st.（X,Y,Z） 50×50×52mm
最大サンプルサイズ φ160mm t=50mm

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FP3030

最小測定穴径 φ10μm～
最大測定長 300×300×300μm
測定分解能 10nm
測定力 0.1μN以下
移動軸st.（X,Y,Z） 305×370×52mm
最大サンプルサイズ φ300mm t=50mm

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