標準片

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表面性状測定用 標準片

  • 高精度／超精密な表面性状測定用 校正標準片
  • オーダーメード標準片：ご要望の形状に加工可能です。（要相談）

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加工可能な表面凹凸形状の仕様

Chirp 振幅A：1μm変調可
波長λ：25μm～8.0mm変調
Sin波 振幅A：Min:0.5μm、Max:20μm変調可
波長λ：振幅により制限あり
段差 深さD：Min:0.5μm、Max:20μm
幅W：Min:70μm
その他 三角波、のこぎり波、円弧溝、ランダム、他

Sin波+Sin波 標準片 SS-M1

校正項目 Ra、Rz、RSm
メリット 異なる振幅形状により使用レンジに合せた校正が可能
⇒ 校正の信頼性の向上
Sin波 振幅10μm、波長100μm
振幅2μm、波長100μm

Sin波+段差 標準片 SS-M20

校正項目 Ra、Rz、RSm、段差P-P
メリット 段差校正とRa校正が１つの標準片で可能
⇒不確かさの低減と校正作業の効率化
Sin波 振幅10μm、波長100μm
段差 深さ10μm、溝幅100μm

Sin波+段差 標準片 SS-M21

校正項目 Ra、Rz、RSm、段差P-P
メリット 段差校正とRa校正が１つの標準片で可能
⇒不確かさの低減と校正作業の効率化
Sin波 振幅5μm、波長100μm
段差 深さ10μm、溝幅100μm

Chirp波形 標準片 SS-M30

校正項目 Pa校正（研究・開発分野 向け）
メリット 各種フィルタのカットオフ特性と検出器の追従特性などのチェック
Chirp波 振幅1μm、波長25μm～8.0mmLog変調

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